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產(chǎn)品名稱： Helios G4 CX DualBeam雙束顯微鏡產(chǎn)品型號(hào)： TFE000049產(chǎn)品時(shí)間： 2020-06-29
客服熱線：4008005586
Thermo Scientific™ Helios™ G4 DualBeam™產(chǎn)品系列憑借其聚焦離子束和電子束性能、專有軟件、自動(dòng)化和易用性特征，重新定義了樣品制備和三維表征的標(biāo)試方式。屬于業(yè)界Helios DualBeam系列的第四代產(chǎn)品，專為滿足科學(xué)家和工程師的各類分析及研究需求而設(shè)計(jì)，它將創(chuàng)新的Thermo Scientific Elstar ™ 電子鏡筒和Thermo
產(chǎn)品介紹
系統(tǒng)不僅配置進(jìn)的電子和離子光學(xué)系統(tǒng)，還采用了一系列進(jìn)的技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)單一致的高分辨率S/TEM和原子探針斷層掃描（APT）樣品制備，以及質(zhì)量的內(nèi)部和三維表征，即使在挑戰(zhàn)性的樣品上也表現(xiàn)出色。Helios G4 CX DualBeam系統(tǒng)的技術(shù)創(chuàng)新結(jié)合易于使用、面的 Thermo Scientific AutoTEM ™4軟件（可選）和專業(yè)的應(yīng)用知識(shí)，可快速輕松地定位制備各類材料的高分辨S/TEM樣品。為了獲得高質(zhì)量的結(jié)果，需要使用低能離子進(jìn)行精拋，以大限度地減少樣品的表面損傷。Tomahawk聚焦離子束（FIB）鏡筒不僅可以在高電壓下進(jìn)行高分辨率成像和刻蝕，而且具有良好的低電壓性能，可以制備高質(zhì)量的TEM薄片。
產(chǎn)品特點(diǎn)
• Tomahawk離子鏡筒實(shí)現(xiàn)速、高質(zhì)量、定位TEM和原子探針樣品制備。
• lstar電子鏡筒以短時(shí)間獲取納米尺度信息。
• 多達(dá)6個(gè)集成化鏡筒內(nèi)及透鏡下探測(cè)器，采集優(yōu)質(zhì)、銳利、無(wú)荷電圖像，提供完整的樣品信息。
• 可選AS&V4軟件，精確定位感興趣區(qū)域，獲取質(zhì)量、多模態(tài)內(nèi)部和三維信息。
• 小于10nm復(fù)雜結(jié)構(gòu)的快速、準(zhǔn)確、精確刻蝕和沉積。
• 高度靈活的110 mm樣品臺(tái)和內(nèi)置的Thermo Scientific Nav- Cam ™ 相機(jī)實(shí)現(xiàn)精確樣品導(dǎo)航。
• 集成化樣品清潔管理和的DCFI和Thermo Scientific SmartScan ™ 等模式實(shí)現(xiàn)無(wú)偽影成像。
參數(shù)
電子束
• 在工作距離下：
− 30kV下STEM 0.6nm
− 15kV下 0.6nm
− 1kV下 1.0nm
− 1kV下 電子束減速模式 0.9nm
• 在束重合點(diǎn)：
− 15kV下 0.6nm
− 1kV下 2.5nm
• 電子束流范圍：0.8pA–100nA
• 加速電壓范圍：200V-30kV
• 著陸能量范圍： 20eV-30keV
• 大水平視場(chǎng)寬度：4mm工作距離下為2.3mm
離子光學(xué)
• 大束流Tomahawk離子鏡筒
• 離子束流范圍：0.1pA–65nA
• 加速電壓范圍：500 V-30kV
• 兩級(jí)差分抽吸
• 飛行時(shí)間（TOF）校準(zhǔn)
• 15 孔光闌
• 大水平視場(chǎng)寬度：在束重合點(diǎn)出為0.9mm
• 離子源壽命至少1,000小時(shí)
• 離子束分辨率（在重合點(diǎn)處）：
− 30kV下 4.0nm（采用統(tǒng)計(jì)方法）
− 30kV下 2.5nm（采用選邊法）
探測(cè)器
• Elstar 透鏡內(nèi)SE/BSE 探測(cè)系統(tǒng)（TLD-SE、TLD-BSE）
• Elstar 鏡筒內(nèi)SE/BSE 探測(cè)系統(tǒng)（ICD）
• Elstar 鏡筒內(nèi)BSE 探測(cè)系統(tǒng)（MD）
• ETD–Everhart-Thornley 二次電子探測(cè)器
• 樣品室紅外CCD相機(jī)，用于樣品臺(tái)高度觀察
• ICE探測(cè)器-高性能離子轉(zhuǎn)換和電子探測(cè)器，用于采集二次電子和二次離子
• Nav-Cam ™ ： 樣品室內(nèi)彩色光學(xué)相機(jī)，用于樣品導(dǎo)航
• DBS–可伸縮式低電壓、高襯度、固態(tài)背散射電子探測(cè)器
• STEM 3+ – 可伸縮分割式探測(cè)器(BF、DF、HAADF)
• 集成電子束流測(cè)量
樣品臺(tái)和樣品
• 靈活五軸電動(dòng)樣品臺(tái)：
-XY范圍：110mm
- Z范圍：65mm
• 旋轉(zhuǎn)：360°（連續(xù)）
• 傾斜范圍：-15°到 +90°
• XY重復(fù)精度：3μm
• 大樣品高度：與優(yōu)中心點(diǎn)間隔85mm
• 大樣品質(zhì)量（0°傾斜）：2kg（包括樣品托）
• 大樣品尺寸：可沿X、Y軸*旋轉(zhuǎn)時(shí)直徑為110mm（若樣品超出此限值，則樣品臺(tái)行程和旋轉(zhuǎn)會(huì)受限）
• 同心旋轉(zhuǎn)和傾斜真空系統(tǒng)
• *無(wú)油的真空系統(tǒng)
• 樣品倉(cāng)真空（高真空）：< 2.6 x 10 -6 mbar（24小時(shí)抽氣后），抽氣時(shí)間：< 5 分鐘樣品倉(cāng)
• 電子束和離子束重合點(diǎn)在分析工作距離處（SEM 4mm）
• 端口：21個(gè)
• 內(nèi)寬：379mm
• 集成等離子清洗
| 產(chǎn)品料號(hào) | 產(chǎn)品貨號(hào) | *產(chǎn)品名稱 | *產(chǎn)品規(guī)格 |
| TFE000049 | TFE000049 | Helios G4 CX DualBeam雙束顯微鏡 | Helios G4 CX DualBeam |
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